Gasreinigungssysteme für Bulkprozesse und Zugehörige Verfahren

EP3900026 Art A1 27. Oktober 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3900026
Aktenzeichen
EP19899475
Anmeldetag
26. November 2019
Veröffentlichung
27. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L23/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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