Verfahren zur Steuerung der Ätztiefe durch Örtliche Erwärmung

EP3900027 Art B1 22. Mai 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3900027
Aktenzeichen: EP19900499
Anmeldetag: 25. November 2019
Veröffentlichung: 22. Mai 2024
Erteilung: 22. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/306H01L21/425H01L21/027H01L27/15H01L25/075G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von