Verfahren zur Beurteilung eines Halbleiterwafers und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterwafers

EP3904825 Art B1 15. März 2023

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3904825
Aktenzeichen: EP19906318
Anmeldetag: 20. Dezember 2019
Veröffentlichung: 15. März 2023
Erteilung: 15. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01B11/24G01B11/255B24B9/14B24B49/04B24B49/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SUMCO CORPORATION
Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von