Elektronenkanone, Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung und Röntgenabbildungsvorrichtung
EP3905299
Art A1
3. November 2021
Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3905299
- Aktenzeichen
- EP18944979
- Anmeldetag
- 28. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 3. November 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J1/46H01J35/14G01N23/04H01J3/18H01J35/16H01J37/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Anelva Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon Anelva
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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