Elektronenkanone, Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung und Röntgenabbildungsvorrichtung

EP3905299 Art A1 3. November 2021

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3905299
Aktenzeichen
EP18944979
Anmeldetag
28. Dezember 2018
Veröffentlichung
3. November 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J1/46H01J35/14G01N23/04H01J3/18H01J35/16H01J37/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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