Optische Stapelabscheidung und Bordmesstechnik

EP3912186 Art A1 24. November 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3912186
Aktenzeichen: EP19910665
Anmeldetag: 30. Oktober 2019
Veröffentlichung: 24. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/768H01L21/66// G01N21/21H01L21/677G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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