Verfahren zur Verarbeitung von Halbleiterfilmen mit Reduzierter Verdampfung und Reduziertem Abbau
EP3915132
Art A1
1. Dezember 2021
Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3915132
- Aktenzeichen
- EP20744318
- Anmeldetag
- 24. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/324// H01L33/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Regents of the University of California
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of California
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Vertreten von
Madgwick, Paul Roland
München, Deutschland
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Meissner Bolte Nürnberg
Meissner Bolte Nürnberg · Nürnberg