Vorrichtung zur Verminderung der Eiskontamination einer Probe, Fräsvorrichtung mit Fokussiertem Ionenstrahl und Verfahren zum Fräsen einer Probe mit Fokussiertem Ionenstrahl

EP3916752 Art A1 1. Dezember 2021

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3916752
Aktenzeichen: EP20177001
Anmeldetag: 28. Mai 2020
Veröffentlichung: 1. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/305G01N1/42

Offizieller Volltext

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Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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