Infrarot-Abstimmbare Femtosekundenlaserquelle mit Niedriger Wiederholrate

EP3918677 Art A1 8. Dezember 2021

Anmelder: MKS Instruments 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3918677
Aktenzeichen: EP20749174
Anmeldetag: 31. Januar 2020
Veröffentlichung: 8. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00H01S3/11// H01S3/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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