Photoakustische Spektroskopie an Gasgemischen über Abstimmbares Fabry-Pérot-Interferometer

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3919890

Aktenzeichen

EP20178591

Anmeldetag

5. Juni 2020

Veröffentlichung

13. Dezember 2023

Erteilung

13. Dezember 2023

Rechtsraum

EP

IPC

G01N21/17G01N21/3504G01N29/24

Abstract

Die Erfindung betrifft bevorzugt ein photoakustisches Spektrometer zur Analyse mehrerer Gaskomponenten eines Gasgemisches, umfassend einen Infrarot-Emitter mit einem Mikro-Heizelement, eine mit dem Gasgemisch befüllbare Messzelle und einen Schalldruckdetektor wobei die Messzelle im Strahlengang des Infrarot-Emitters vorliegt, sodass die von dem Infrarot-Emitter emittierbare Infrarotstrahlung Gas in der Messzelle zur Ausbildung von Schalldruckwellen anregen kann, welche mit Hilfe des Schalldruckdetektors messbar sind. Das photoakustische Spektrometer ist dadurch gekennzeichnet, dass der Infrarot-Emitter ein MEMS Fabry-Pérot-Interferometer umfasst, welches auf dem Mikro-Heizelement monolithisch integriert vorliegt und mit welchem eine zeit- und wellenlängenabhängige Modulation der Infrarotstrahlung ermöglicht wird. Weiterhin betrifft die Erfindung bevorzugt ein Verfahren zur Analyse mehrerer Gaskomponenten mittels eines solchen photoakustischen Spektrometers.

Anmelder

Firmen

Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete