Grossflächiges Hochauflösendes Lithografisches Verfahren zur Reduktion von Merkmalen

EP3924778 Art A1 22. Dezember 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3924778
Aktenzeichen: EP20755271
Anmeldetag: 24. Januar 2020
Veröffentlichung: 22. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/22G03F1/52G03F1/38G02B5/18G02B27/42G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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