Steuerungssystem, Optisches System und Verfahren

EP3924793 Art B1 25. Januar 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3924793
Aktenzeichen: EP20705024
Anmeldetag: 10. Februar 2020
Veröffentlichung: 25. Januar 2023
Erteilung: 25. Januar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G05B23/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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