Oniumsalzhaltige Verarbeitungslösung für Halbleiterwafer

EP3926662 Art B1 30. April 2025

Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3926662
Aktenzeichen
EP20756178
Anmeldetag
13. Februar 2020
Veröffentlichung
30. April 2025
Erteilung
30. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213H01L21/768H01L23/532C23F1/40C23F1/46C07C211/63C07C381/12C07F9/54C09K13/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Tokuyama Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie
Vertreten von
Jones, Nicholas Andrew Withers & Rogers London, Großbritannien
1.355
Patente gesamt
30
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Pharma & Biotechnologie Anorganische Chemie & Werkstoffe
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Withers & Rogers München, Deutschland

Withers & Rogers zählt zu Europas größten IP-Kanzleien und ist neben Großbritannien auch in Paris und seit 2019 in München vertreten. Ihre erklärte Aufgabe: Mandanten den oft unübersichtlichen europäischen IP-Schutz verständlich zu machen.

26.427
Patente gesamt
39
Patentanwälte
3
Standorte

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen