Phasengesteuerte Strahllenkung für Materialbearbeitung

EP3928388 Art B1 22. Oktober 2025

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3928388
Aktenzeichen: EP20759149
Anmeldetag: 4. Februar 2020
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Erteilung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/067H01S3/13H01S3/23G02F1/29H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

334 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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