Flache Heizvorrichtung und Herstellungsverfahren

EP3928593 Art A1 29. Dezember 2021

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3928593
Aktenzeichen: EP20777897
Anmeldetag: 19. März 2020
Veröffentlichung: 29. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H05B3/34H05B3/03H05B1/02H05B3/36F16L53/35F16L53/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik

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