Kieselsäureteilchen und Verfahren zu Ihrer Herstellung, Kieselsol, Polierzusammensetzung, Polierverfahren, Verfahren zur Herstellung von Halbleiter-Wafern und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen

EP3929154 Art A1 29. Dezember 2021

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3929154
Aktenzeichen: EP20758825
Anmeldetag: 19. Februar 2020
Veröffentlichung: 29. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/145C01B33/148C09K3/14H01L21/02C09G1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von