Silica-Partikel und Herstellungsverfahren Dafür, Silica-Sol, Polierzusammensetzung, Polierverfahren, Verfahren zur Herstellung von Halbleiterwafern und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen

EP3929155 Art A1 29. Dezember 2021

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3929155
Aktenzeichen: EP20759610
Anmeldetag: 19. Februar 2020
Veröffentlichung: 29. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/18B24B37/00C01B33/14H01L21/304C01B33/145C01B33/148C09K3/14H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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