Vorrichtung zur Oberflächenpositionserfassung, Expositionsvorrichtung, Substratverarbeitungssystem und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung

EP3929529 Art B1 25. September 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3929529
Aktenzeichen: EP19915683
Anmeldetag: 21. Februar 2019
Veröffentlichung: 25. September 2024
Erteilung: 25. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/02G03F7/20G03F9/00H01L21/66G01B11/06G01D5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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