Reinigungsflüssigkeit zur Entfernung von Cerverbindungen, Reinigungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterscheibe

EP3929966 Art A1 29. Dezember 2021

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3929966
Aktenzeichen: EP20759018
Anmeldetag: 17. Februar 2020
Veröffentlichung: 29. Dezember 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/3105C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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