Verfahren zum Herstellen eines Prozessbehälters für Halbleiterwerkstücke und Prozessbehälter

EP3929969 Art B1 6. Dezember 2023

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3929969
Aktenzeichen: EP20181299
Anmeldetag: 22. Juni 2020
Veröffentlichung: 6. Dezember 2023
Erteilung: 6. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines einen Behälter umfassenden Prozessbehälters (110) für Halbleiterwerkstücke (200), bei dem aus einem Grundmaterial mittels eines additiven Aufbauverfahrens der Behälter mit einer vorgegebenen Form erzeugt wird, wobei anschließend zumindest in vorbestimmten Bereichen einer Oberfläche des Behälters ein Beschichtungsmaterial zum Schutz gegen Chemikalien aufgebracht wird, sowie einen solchen Prozessbehälter (110).

Anmelder

Firma: Siltronic AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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