Polyimidhaltige Filtrationsmembran, Filter und Verfahren

EP3930883 Art A1 5. Januar 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3930883
Aktenzeichen
EP20762661
Anmeldetag
27. Februar 2020
Veröffentlichung
5. Januar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B01D71/64B01D69/10B01D67/00C02F1/44B01D29/21B01D63/06B01D63/08B29C65/02B01D39/16B01D63/14B01D65/00B01D69/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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