Gruppe-Vi-Vorläuferverbindungen

EP3931367 Art A1 5. Januar 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3931367
Aktenzeichen
EP20762795
Anmeldetag
27. Februar 2020
Veröffentlichung
5. Januar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C14/14C23C16/32C23C16/455C07F11/00C23C16/10C23C16/14H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von

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