Chemischer Dampfabscheidungsreaktor mit mehreren Duschköpfen, Verfahren und Produkte zur Chemischen Gasphasenabscheidung

EP3931368 Art A1 5. Januar 2022

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3931368
Aktenzeichen: EP20763122
Anmeldetag: 25. Februar 2020
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/54C23C16/48C23C16/40C23C16/02H01L39/24H01B13/00H01B12/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von