Mikromechanische Struktur, Mikromechanisches System und Verfahren zum Bereitstellen einer Mikromechanischen Struktur

EP3931622 Art A2 5. Januar 2022

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3931622
Aktenzeichen
EP20707087
Anmeldetag
25. Februar 2020
Veröffentlichung
5. Januar 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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