Tischsystem und Lithografische Vorrichtung
EP3931640
Art A1
5. Januar 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3931640
- Aktenzeichen
- EP20702024
- Anmeldetag
- 30. Januar 2020
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Nouwens, Johannes Wilhelmus Henricus
Veldhoven, Niederlande
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte