Fördervorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP3933507 Art A1 5. Januar 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3933507
Aktenzeichen: EP21175861
Anmeldetag: 26. Mai 2021
Veröffentlichung: 5. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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