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EP3935448
Art B1
28. Dezember 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3935448
- Aktenzeichen
- EP20703998
- Anmeldetag
- 6. Februar 2020
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2022
- Erteilung
- 28. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G06N3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
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