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EP3935448 Art B1 28. Dezember 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3935448
Aktenzeichen
EP20703998
Anmeldetag
6. Februar 2020
Veröffentlichung
28. Dezember 2022
Erteilung
28. Dezember 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G06N3/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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