Beheizte Drosselklappenvorrichtung und Verfahren zu Ihrer Verwendung und Herstellung

EP3938691 Art A1 19. Januar 2022

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3938691
Aktenzeichen: EP20795749
Anmeldetag: 17. April 2020
Veröffentlichung: 19. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: F16K49/00F16K31/00F16K37/00H01R13/02H01R4/48F16K51/02H01R13/58F16D1/076

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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