Sputtertarget aus Wolframoxid

EP3940108 Art A1 19. Januar 2022

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3940108
Aktenzeichen: EP20773930
Anmeldetag: 12. März 2020
Veröffentlichung: 19. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C04B35/453H01L21/285C23C14/08C01G41/02C04B35/495C04B35/626C04B35/645

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von