Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung einer Mehrschichtigen Vorrichtung mit einem Supraleitenden Film

EP3942089 Art A1 26. Januar 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3942089
Aktenzeichen: EP20779391
Anmeldetag: 18. März 2020
Veröffentlichung: 26. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/06C23C14/56C23C14/34C23C14/00C23C14/58H01J37/32C23C14/02C23C14/54C23C14/35H10N60/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von