Abziehemulsionsschicht für Lithographie

EP3944018 Art A1 26. Januar 2022

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3944018
Aktenzeichen: EP21195196
Anmeldetag: 24. Februar 2015
Veröffentlichung: 26. Januar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/00G03F1/22G03F1/64G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von