Messverfahren zur Interferometrischen Bestimmung einer Oberflächenform

EP3948156 Art B1 24. Dezember 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3948156
Aktenzeichen: EP20712522
Anmeldetag: 17. März 2020
Veröffentlichung: 24. Dezember 2025
Erteilung: 24. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01M11/00G02B5/18B29D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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