Positive Resistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Resistmusters unter Verwendung davon

EP3948418 Art A1 9. Februar 2022

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3948418
Aktenzeichen: EP20715028
Anmeldetag: 26. März 2020
Veröffentlichung: 9. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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