Verfahren zum Polieren eines zu Polierenden Gegenstandes aus einem Material mit Silizium-Silizium-Verbindung

EP3950877 Art A1 9. Februar 2022

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3950877
Aktenzeichen: EP20779911
Anmeldetag: 30. Januar 2020
Veröffentlichung: 9. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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