Verfahren zur Ausrichtung einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung
EP3951832
Art A1
9. Februar 2022
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3951832
- Aktenzeichen
- EP20189256
- Anmeldetag
- 3. August 2020
- Veröffentlichung
- 9. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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