Systeme und Verfahren zur Erzeugung einer Gelösten Ammoniaklösung mit Reduziertem Gehalt an Gelöstem Trägergas und Sauerstoff

EP3953070 Art A1 16. Februar 2022

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3953070
Aktenzeichen: EP20722840
Anmeldetag: 7. April 2020
Veröffentlichung: 16. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: B08B3/02B08B3/04H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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