Vorrichtung und Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit Planaren oder Geformten Oberflächen mittels Magnetron-Sputtern

EP3953499 Art A1 16. Februar 2022

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3953499
Aktenzeichen: EP20716175
Anmeldetag: 9. April 2020
Veröffentlichung: 16. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04C23C14/50C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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