Optische In-Situ-Kammeroberfläche und Prozesssensor

EP3953671 Art A1 16. Februar 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3953671
Aktenzeichen: EP20787662
Anmeldetag: 2. April 2020
Veröffentlichung: 16. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01J3/12G01J3/02G01J3/28G01J3/443H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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