Metallorganische Fotoresistentwicklerzusammensetzungen und Verarbeitungsverfahren

EP3953767 Art A1 16. Februar 2022

Anmelder: Inpria Corporation, Tokyo Electron Limited 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3953767
Aktenzeichen: EP20787220
Anmeldetag: 10. April 2020
Veröffentlichung: 16. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/30G03F7/32G03F7/20G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Inpria Corporation
Tokyo Electron Limited
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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