Verfahren zur Automatischen Fokussierung eines Strahls Geladener Teilchen auf einen Oberflächenbereich einer Probe, Verfahren zur Berechnung eines Konvergierenden Satzes von Schärfewerten von Bildern eines Strahls Geladener Teilchen und Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zur Bildgebung einer Probe

EP3953961 Art B1 8. Januar 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3953961
Aktenzeichen: EP19719198
Anmeldetag: 12. April 2019
Veröffentlichung: 8. Januar 2025
Erteilung: 8. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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