Messsystem und Verfahren zur Beugung von Licht

EP3956629 Art A1 23. Februar 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3956629
Aktenzeichen: EP20791522
Anmeldetag: 6. April 2020
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/02G01M11/00G01N21/95G02B27/10G02B27/28G03F7/20G01J3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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