Zusammensetzung zur Vermeidung von Musterkollaps bei der Behandlung von Gemusterten Materialien mit Linienraumabmessungen von 50 Nm oder Darunter mit einem Additiv vom Bortyp

EP3956729 Art A1 23. Februar 2022

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3956729
Aktenzeichen: EP20715884
Anmeldetag: 3. April 2020
Veröffentlichung: 23. Februar 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40B81C1/00H01L21/02H01L21/027H01L21/306C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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