Klebstoff für Abziehemulsionsschichten, Abziehemulsionsschicht, Abziehemulsionsschichtbefestigte Belichtungsoriginalplatte, Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallanzeigetafel, Verfahren zur Regenerierung einer Belichtungsoriginalplatte und Verfahren zur Verringerung von Abziehrückständen
EP3958059
Art A1
23. Februar 2022
Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3958059
- Aktenzeichen
- EP20791361
- Anmeldetag
- 15. April 2020
- Veröffentlichung
- 23. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64G03F1/62G03F7/20H01L21/683
Abstract
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Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Kanzlei
Meissner Bolte Patentanwälte
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