Pellikel, Belichtungsoriginalplatte mit Pellikel, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements, Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallanzeigetafel, Verfahren zum Recyceln von Belichtungsoriginalplatten und Verfahren zur Verminderung des Freisetzungsrückstands
EP3958060
Art A1
23. Februar 2022
Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3958060
- Aktenzeichen
- EP20791599
- Anmeldetag
- 15. April 2020
- Veröffentlichung
- 23. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64G03F1/62G03F7/20H01L21/683
Abstract
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Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Meissner Bolte Patentanwälte
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