Klebstoff für Abziehemulsionsschicht, Abziehemulsionsschicht, Belichtungsoriginalplatte mit Abziehemulsionsschicht, Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen, Verfahren zur Herstellung von Flüssigkristallanzeigetafeln, Verfahren zur Regeneration von Belichtungsoriginalplatten und Verfahren zur Verringerung von Abziehrückständen
EP3958061
Art A1
23. Februar 2022
Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3958061
- Aktenzeichen
- EP20791600
- Anmeldetag
- 15. April 2020
- Veröffentlichung
- 23. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/64G03F1/62G03F7/20H01L21/683
Abstract
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Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Meissner Bolte Patentanwälte
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