Reaktor zur Beschichtung von Partikeln in einer Stationären Kammer mit Rotierenden Schaufeln

EP3959353 Art A1 2. März 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3959353
Aktenzeichen: EP20795513
Anmeldetag: 22. April 2020
Veröffentlichung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/44C23C16/448B01J2/00B01J2/10B05D1/00B05D1/18B05D3/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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