Reaktor zur Beschichtung von Partikeln in einer Stationären Kammer mit Rotierenden Schaufeln und Gasinjektion

EP3959354 Art A1 2. März 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3959354
Aktenzeichen: EP20795840
Anmeldetag: 22. April 2020
Veröffentlichung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/44C23C16/442B01F27/072B01F27/70B01F33/40B01F33/70B01J19/00A61K9/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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