Vorrichtung zur Herstellung eines Bedruckten Chemisch-Mechanischen Polierkissens und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP3961675 Art A1 2. März 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3961675
Aktenzeichen: EP21201622
Anmeldetag: 5. April 2013
Veröffentlichung: 2. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/04B24B37/26B24D18/00B29K509/02B29K75/00B29C67/00B29C64/112B33Y10/00B33Y80/00B33Y30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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