Filter mit Hülle zur Minderung von Elektrostatischer Entladung

EP3962627 Art A1 9. März 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3962627
Aktenzeichen
EP20801661
Anmeldetag
24. April 2020
Veröffentlichung
9. März 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B01D39/16F16L25/01F16L47/04H01B1/12
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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