Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP3964894 Art A3 27. Juli 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3964894
Aktenzeichen: EP21193922
Anmeldetag: 31. August 2021
Veröffentlichung: 27. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L27/146G02B27/42G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.221 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von