Elektronenemittierendes Element und Elektronenmikroskop

EP3968352 Art A1 16. März 2022

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3968352
Aktenzeichen: EP20802746
Anmeldetag: 23. März 2020
Veröffentlichung: 16. März 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/06H01J37/073H01J9/02H01J1/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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